真空炉石墨元件的结构支撑元件：承载与定位的要害

石墨托盘/支架

结构：多层石墨板叠加，经过螺栓或卡槽固定。

运用：承载半导体晶圆、金属零件等，需接受高温（>2000℃）和热应力。

规划要害：选用高密度石墨（≥1.8g/cm3）进步机械强度，表面粗糙度控制在Ra0.8μm以下以减少应力会集。

石墨支撑柱/立柱

结构：圆柱形或方形柱体，用于支撑炉膛或工件。

优势：耐高温、抗热震性强，某石墨支撑柱在2200℃下循环运用50次无裂纹。

石墨横梁

功用：衔接炉膛两端，供给结构支撑。

优势：使真空炉内部免保养、低维修，寿数超长。

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