石墨舟底部镂空导流结构改善炉内温场均匀度
捷诚PECVD石墨舟
实心平底石墨舟底座蓄热容量大,炉管上下层舟体、舟体中心区域与边缘位置温差明显。中心硅片温度偏高出现扩散过度
捷诚石墨
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产品介绍
实心平底石墨舟底座蓄热容量大,炉管上下层舟体、舟体中心区域与边缘位置温差明显。中心硅片温度偏高出现扩散过度,边缘温度偏低扩散不足,最终方块电阻差值超标,电池片性能离散度大。底部镂空导流结构通过矩阵镂空孔隙平衡炉内热气流穿透能力,缩小单舟内部温差,稳定方块电阻区间,提升整批电池一致性。

镂空设计并非大面积挖空减重,采用均匀矩阵小圆孔排布,孔径 6mm、孔间距 12mm,底座预留加固筋条保障承重结构强度。热气流能够从舟底上下贯通流动,长管式扩散炉内热氛围穿透性提升,同一舟体硅片最大温差从 8℃缩减至 2℃以内,方块电阻波动范围直接收窄一半。多层堆叠镂空舟可实现每层气流互通,层间温差同步降低优化。
筋条位置做加厚圆弧过渡处理,防止镂空开孔处应力集中出现开裂;镂空孔内壁精细抛光无毛刺,避免堆积硅粉结块堵塞风道。抗氧化浸渍工序中药剂可以均匀渗透底座整体,镂空内壁同步形成完整防护层,不会出现孔洞内部优先氧化损耗的情况。实心底座蓄热量大,升降温节奏缓慢;镂空舟热响应速度更快,整体升温时间缩短 8%,单炉生产节拍小幅提速增效。
对于 210 大尺寸超长石墨舟,镂空结构改良效果尤为突出,完美解决长舟两端散热快、中间积热严重的固有通病。实测方块电阻标准差从 12Ω/□下降至 5Ω/□以内,低效次品数量明显减少。镂空导流属于纯结构优化升级方案,无需更换高价高纯原料,依靠数控精密开孔工艺就能实现温场品质提升,适配所有管式扩散量产光伏产线。