真空炉石墨元件的结构支撑元件：承载与定位的关键

石墨托盘/支架

结构：多层石墨板叠加，通过螺栓或卡槽固定。

应用：承载半导体晶圆、金属零件等，需承受高温（>2000℃）和热应力。

规划关键：采用高密度石墨（≥1.8g/cm3）提升机械强度，表面粗糙度控制在Ra0.8μm以下以减少应力集中。

石墨支撑柱/立柱

结构：圆柱形或方形柱体，用于支撑炉膛或工件。

优势：耐高温、抗热震性强，某石墨支撑柱在2200℃下循环运用50次无裂纹。

石墨横梁

功用：连接炉膛两边，提供结构支撑。

优势：使真空炉内部免保养、低维修，寿命超长。